制造光刻机的难度非常大,有些企业花费了几十年时间,可能才突破其中一项零部件。但科技发展永无尽头,为了成功一切都值得。
终于在国产企业的努力下,完成了一项光刻机的核心零件破冰。这次取得怎样的技术突破呢?对国产半导体的意义有哪些?
国产光刻机零部件破冰
提到光刻机,大部分的印象就是高端,先进。因为在芯片制造中,光刻机充当非常重要的角色,芯片需要靠光刻机的曝光,才能完成芯片电路图的光刻。
就拿最先进的EUV光刻机来说,内部包含10万个零部件,先进程度可以说是结合了全人类的智慧。